 
                    Primus-HS 422/MGH 422
                
                                主要功能
                            
                            ● 采用经典十字工作台结构,Z轴独立,保证了设备的高精度;
● 三轴都采用“燕尾”式导轨结构,精密预载荷气浮导轨,确保了设备精度稳定性;
● 三轴都采用花岗岩材料,提高了设备的精度稳定性;
● 采用增加柔性机构的滚珠丝杠驱动,保证足够驱动力同时减小了误差;
● ≤0.05μm的光栅尺分辨率,为设备提供精密测量的保证;
● 具有恒温功能的一体化防护罩壳,使得设备在不同外加环境下具备更高的精度;
● 支持多种测头系统。
                                相关参数及技术指标
                            
                            
| 机型 | 测量范围( mm) | 分辨率(μm) | 示值误差E(μm) | 工作台最大承重( kg) | 机器重量( kg) | ||
| Dx | Dy | Dz | |||||
| Primus-HS 422 | 400 | 200 | 200 | 0.02 | 0.5+L/1000起 | 20 | 600 | 
                                相关产品
                            
                            
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