 
                    Primus-H 533/MGH 533
                
                                主要功能
                            
                            ● 采用刚性好的固定桥式结构,具有高精度、高性能和高稳定性的优点;
● 四轴均采用精密滚珠丝杠传动,具有刚性高,反向问隙小、传动精度高的特点;
● 采用优质花岗岩空气轴承导轨结构,热膨胀系数小,导向精度高,运行平稳;
● Y向采用燕尾式气浮导轨设计,使其在X、Z方向具有较强的抗扭强度;
● Z轴采用独特专利技术的气浮套结构,偏置力矩小,运动平稳;
● 光栅尺采用进口高精度插槽式光栅尺。
                                相关参数及技术指标
                            
                            | 标准机型 | 测量范围(mm) | 外形尺寸(mm) | 分辨率 (μm) | 探测误差R (μm) | 示值误差E (μm) | 工作台 最大承重 (kg) | 整机重量 (kg) | ||||
| Dx | Dy | Dz | Lx | Ly | Lz | ||||||
| Primus-H 553 | 500 | 500 | 300 | 1432 | 1783 | 2247 | 0.02 | 0.6 | 0.5+L/1000起 | 30 | 1800 | 
| Primus-H 664 | 600 | 600 | 400 | 1532 | 1983 | 2447 | 0.02 | 0.8 | 0.7+L/1001起 | 30 | 2000 | 
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